电子科学与技术(微电子学与固体电子学)学科硕士研究生培养方案
(080903)
通信与电子工程学院
一、指导思想
面向世界科技竞争最前沿,面向经济社会发展主战场,面向人民群众新需求,面向国家治理大战略,以立德树人、服务需求、提高质量、追求卓越为主线,围绕卓越微电子学与固体电子学专业人才培养目标,紧扣价值塑造、知识创造、思维提升、能力达成和精神养成五个要素,强化形象思维、逻辑思维、批判性思维、创造性思维,培养造就具有德才兼备的高层次专业人才,为加快提升国家集成电路领域的可持续性快速发展提供有力的智力和人才资源支撑。
二、培养目标
坚持立德树人根本任务,聚焦国家在微电子领域的专业人才需求,以理论知识与技术实践相结合、现实科技与未来发展相结合、专业技术与跨学科应用相结合的理念,培养社会主义建设事业需要的,德智体美全面发展的,适应面向现代化、面向世界、面向未来的微电子学与固体电子学以及集成电路专业领域的高级专门人才。基本目标是:
(1)掌握马克思列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论、“三个代表”重要思想、科学发展观、习近平新时代中国特色社会主义思想的基本理论,坚持四项基本原则;爱国守法,品行端正,学风严谨,身心健康,具有家国情怀和使命感。
(2)培养具有坚实、系统的电子科学与技术理论基础和专门知识,掌握现代电子科学与工程实验技能和技术,具备在微电子学、集成电路工程、人工智能等领域从事科学研究工作或担负专门技术工作的能力。
(3)较为熟练地掌握一门外语,具有较好的专业外文文献阅读、开展相应学术研究和国际学术交流的能力。
1.人才的基本定位
具有扎实的微电子学与固体电子学专业理论基础,较好地掌握其基本理论、研究方法,了解该领域的发展现状和动态,在微电子学与固体电子学的某研究方向上有较深入的专门知识和技能,较熟练地掌握计算机技术和一门外国语。本专业硕士研究生应具有独立的工作能力、创新的科研意识、积极的团队合作精神及求实的工作态度,能胜任该领域的微/纳米电子材料与器件和集成电路与微系统的研究、制造、设计开发与应用工作。坚持党的四项基本原则,德、智、体全面发展、自觉地为社会主义现代化建设服务。
2.对毕业生综合素质的要求
具有坚实的理论基础,掌握半导体产业通用的技术和工具,具备在微电子学与固体电子学以及集成电路领域的的某研究方向上有深入的专门知识,有较强的科技创新能力,具有创新意识和协作精神,能熟练地掌握计算机技术和一门以上外国语,能独立地从事该领域的教学、科研和高新技术开发工作,做出创造性成果的德、智、体全面发展的高层次专门人才。
3.人才的培养特色
遵循“行业指导、校企合作、分类实施、形式多样”原则,以需求和问题为导向、以素质和能力培养为重点,通过构建集成电路产教融合共同体,强化科研育人、实践育人功能,切实提升学生深入全面的科研能力和解决复杂工程问题的能力。通过专业技能竞赛,激发学生的潜力提高学生创新综合素质和快速解决问题的能力水平。充分发挥高校在创新创业人才培养上的重要作用,服务于“大众创新、万众创业”的国家战略。
三、二级学科(专业)
1. 微电子学与固体电子学(080903)
四、毕业与学位要求
毕业与学位授予要求(一级指标) | 二级指标点(观测点)及其内涵阐述 |
1. 课程及学分 | 1.1学位公共课:6学分; |
1.2跨一级学科课程不少于2学分 | |
1.3学位基础课:5 学分; | |
1.4学位专业必修课:8 学分; | |
1.5学位专业选修课:≥4学分 | |
2.培养过程 | 2.1学术活动:参加各类学术讲座、论坛、竞赛、毕业答辩、电子展等活动不得低于30次。 |
2.2考核与分流:培养期间需要通过基本文献阅读、开题报告、学术活动、科研训练、中期考核等各项考核,不达标者需要按照相应的规定予以补正。 | |
3.学位论文 | 3.1论文选题:论文选题必须是本领域的前沿性科学和技术研究,可以是基础研究或应用基础研究,也可以是产学研合作课题,论文须有自己的见解或特色。 |
3.2创新成果:研究生在读期间需要取得一定的科研成果,经导师同意后方可答辩。 | |
3.3论文预答辩:论文外审前必须进行论文预答辩,预答辩合格者,以及基本合格者,经导师同意后,可进入评阅盲审等后续环节。预答辩不合格者,必须根据预答辩小组意见,全面修改论文后重新进行预答辩。 |
五、学习年限与培养方式
1.学习年限
硕士研究生基本学习年限为3年,最长学习年限为5年。
2.培养方式
实行导师负责制,可采用导师个别指导或导师组(主导师加上副导师)共同培养相结合的方式。导师组可根据需要,由跨学科、跨专业或国内外同行专家组成。
六、课程体系及学分要求
1.学分要求
(1)硕士研究生修读总学分:__≥27___。各类别学分要求如下:
学位公共课(必修)6学分,学位公共课(选修)__≥2__学分,学位基础课__5__学分,学位专业课(必修)__8__学分,学位专业课(选修)__≥4__学分,跨一级学科课程__≥2__学分。
(2)补修课程要求:跨学科入学的研究生,应当在导师指导下补修本学科本科专业的有关课程,所得学分记为非学位课程学分,不计入培养方案总学分。
(3)港澳台硕士生可免修思想政治理论课,代之以修读《中国概况》。
(4)国际留学硕士生可免修思想政治理论课、第一外国语,代之以修读《中国概况》或《中国文明导论》和汉语课程等有关课程。以外语为专业教学语言的学科、专业的留学生毕业时,中文能力应当至少达到《国际汉语能力标准》三级水平。
2.课程体系
课程 类别 | 课程编号 | 课程中英文名称 | 学分 | 开课学期 | 修读要求 |
学位公共课 | TYKC0611101006 | 新时代中国特色社会主义理论与实践 Theory and Practice of Socialism with Chinese characteristics in the new era | 2 | 秋 | 必选 |
TYKC0611101003 | 自然辩证法 The Outline of Dialectics of Nature | 1 | 秋 | 必选 | |
外国语 English | 2 | 春/秋 | 必选 | ||
研究伦理与学术规范类课程 Discipline and Ethics in Academic Research | 1 | 必选 | |||
通识选修类课程 | 2 | 必选 | |||
学分要求:≥8 学分 | |||||
学位 基础课 | ETST3611102016 | Modern Semiconductor Device Physics | 3 | 春 | 必选 |
ETST3611102013 | 微电子学与固体电子学研究方法 Methodology of Microelectronics and Solid-state Electronics | 2 | 春 | 必选 | |
学分要求:≥5学分 | |||||
学位专业课(必修) | ETST3611102030 | VLSI工艺技术 VLSI Process Technology | 3 | 秋 | 必选 |
ETST3611102008 | 数字集成电路与系统设计 Digital Integrated Circuit and System Design | 3 | 秋 | 必选 | |
ETST3611102014 | 微机电系统 Foundations of MEMS | 2 | 春 | 必选 | |
学分要求:≥8学分 | |||||
学位专业课(选修) | ETST3611102035 | CMOS射频集成电路设计 The Design of CMOS Radio-Frequency Integrated Circuits | 2 | 春 | 选修 |
ETST3611102003 | 混合信号CMOS集成电路设计 CMOS Mixed-Signal Integrated Circuit Design | 2 | 春 | 选修 | |
ETST3711102001 | 模拟集成电路与系统设计 Design of Analog Integrated Circuits and System | 3 | 春 | 选修 | |
ETST3611102018 | 新型实用传感器技术 Sensor Technology | 2 | 秋 | 选修 | |
ETST3611102031 | 半导体光电子学 Semiconductor Optoelectronics | 3 | 春 | 选修 | |
集成电路EDA设计与应用 Design and application of integrated circuit EDA | 2 | 春 | 选修 | ||
ETST3611102038 | 低维半导体器件表征与测试 Low Dimension Semiconductor Devices and their Characterizations | 2 | 春 | 选修 | |
学分要求:≥4学分 | |||||
跨一级学科课程 | 跨一级学科选修课 | 必选 | |||
学分要求:≥2学分 | |||||
非学位课程 | 修读培养方案要求以外的课程,如补修本专业本科课程等,不计入培养方案总学分。 | ||||
总学分 | ≥_27_____ 学分 |
七、培养环节考核
硕士研究生培养环节主要包括:基本文献阅读能力考核、开题报告、实践环节和科研训练、学术活动、中期考核,鼓励各院系(学部)开展预答辩,各环节考核时间安排详见下表:
学期 | 零 | 一 | 二 | 三 | 四 | 五 | 六 |
硕士 | 优秀本科生修读研究生阶段课程 | 基本文献阅读能力考核 开题报告 学术活动 实践环节 中期考核 鼓励开展预答辩 | 答辩 | ||||
科研训练贯彻始终 |
1.基本文献阅读能力
(1)考核要求
硕士生在读期间需要完成本学科培养方案中所列基本文献的阅读,经导师审核,并通过所在院系组织的考核。
(2)考核结果及分流说明
基本文献阅读能力的考核结果分为通过、不通过。通过者方能进入开题报告环节。不通过者,可申请在3-6个月后申请进行第二次考核。
2.开题报告
(1)准入条件
开题报告由院系统一组织,一般在第四学期结束前完成,具体时间由导师(导师组)和院系协商决定,自开题报告通过至申请论文答辩原则上应不少于1年。
(2)考核要求
开题报告是硕士生确定学位论文选题、开展研究计划、保障论文质量的重要环节。开题内容应包括文献综述、选题背景及其意义、研究内容、研究方案、研究特色及创新点、可行性分析、预期成果等。开题报告考核小组成员不少于3人,由具有硕士生指导资格的、副高级及以上职称的专家组成。属于不同学科交叉培养的硕士生,应聘请所涉及的相关学科专家参加。
(3)考核结果及分流说明
开题报告的考核结果分为通过、不通过。开题结束后,硕士生将开题报告表提交所在院系备案。未通过者,可申请2-3个月后进行第二次开题;两次未通过者(含主动放弃者),按肄业处理。研究过程中,如论文课题出现重大变动的,应重新组织开题。
3.学术活动
(1)考核要求
学术活动包括各类学术讲座、学术会议和学科竞赛等。硕士生在学期间参加各类学术活动的次数应不少于30次。每次活动结束后3天内,由硕士生完成网上在线登记。达到要求后,系统生成《华东师范大学研究生学术活动登记表》,并由硕士生送交导师审核评定后,交所在院系备案。
(2)考核结果及分流说明
考核合格者才能参加论文答辩环节。
4.实践环节与科研训练
(1)考核要求
实践环节和科研训练包括教学实习或科研实践。教学实习或科研实践需完成至少40学时的工作量。教学实习和科研实践具体考核内容、考核方式,按院系细则,并由导师或导师组安排实施。完成后,硕士生在线填写、提交《华东师范大学研究生教学实习/科研实践考核表》,经导师和院系评定后,报交所在院系存档。 具有两年以上高校教学实践并曾承担讲课任务的硕士生,可提供高校教务部门的有关证明,经导师和院系分管领导审核后,可以免予参加教学实习。
(2)考核结果及分流说明
考核合格者才能参加论文答辩环节。
5.中期考核
(1)准入条件
第五学期结束前完成。
(2)考核要求
中期考核旨在按照学科培养方案和个人培养计划的要求,对硕士生的学业进展情况进行全面检查。 中期考核主要包括课程修读、基本文献阅读能力、开题报告、学术活动、实践环节和科研训练等完成情况。中期考核小组成员不少于3人,由具有硕士生指导资格的、副高级及以上职称的专家组成。属于不同学科交叉培养的硕士生,应聘请所涉及的相关学科专家参加。以上各环节考核通过者,中期考核通过,否则为不通过。
(3)考核结果及分流说明
中期考核通过者,方可进入毕业论文预答辩或答辩程序。不通过者,根据学业进展情况,可作延长学习年限、结业或肄业处理。
6.论文预答辩
(1)准入条件
论文外审前必须进行论文预答辩。经指导教师同意,可进行论文的预答辩工作。
(2)考核要求
预答辩小组至少由3名或5名具有高级职称的同行专家(副高职称的专家需有博士学位)组成,其中,设组长1名,博士生导师为预答辩小组成员;另聘请预答辩秘书1名,具体负责预答辩工作。属于不同学科交叉培养的博士生,应当聘请所涉及的相关学科专家参加。
(3)考核结果及分流说明
论文预答辩结论为三类:合格、基本合格和不合格。预答辩合格者,以及基本合格者,经导师同意后,可进入评阅盲审等后续环节。预答辩不合格者,必须根据预答辩小组意见,全面修改论文,经导师审阅同意后,重新进行预答辩。两次预答辩的间隔时间不少于 3 个月。 除上述情况外,具备以下条件之一者,需再次进行预答辩:1)盲审出现异议且复议未通过者;2)答辩未通过者;3)学位分委会审议未通过者;4)校学位评定委员会审议未通过者。
八、创新成果考核
鼓励硕士研究生在读期间在高水平学术期刊上发表高质量的学术论文,科研成果应与其所在专业、研究方向、学位论文具有相关性。硕士研究生在读期间,以本人为第一作者、华东师范大学为第一作者单位和通信作者的第一署名单位,发表的科研成果须满足下列条件之一,方可申请答辩。
1.公开发表期刊论文1篇(含录用);
2.正式发表会议论文1篇(第一作者,有正式出版号);
3.正式授权的国家发明专利(第一作者,或者导师为第一作者,学生为第二作者)。
4. 其他由学术委员会认可的科研成果。
九、学位论文要求
1.学位论文是对硕士生进行科学研究的全面训练,是培养其综合运用所学知识分析问题和解决问题能力的重要环节,也是衡量硕士生学术水平以及能否获得学位的重要依据。
2.硕士生应有不少于1年的时间,在导师和导师组的指导下,进行学位论文相关的科研训练,独立设计和完成某一科研课题,培养独立科研工作能力的过程。硕士学位论文可以是基础研究或应用基础研究,也可以结合科研攻关任务从事应用开发研究,但须有自己的独创性见解或特色。
3.论文撰写。学位论文用汉语撰写,格式须符合研究生院规定。研究生在论文撰写过程中应定期向导师和指导小组做阶段报告,并在导师指导下不断完善论文内容与结构,论文撰写时间不得少于两年,以确保学位论文的质量。留学硕士,学位论文可用汉语或英语撰写和答辩,但必须有详细的中文摘要。
4.硕士生学位论文的评阅、盲审、答辩,以及学位申请、学位评议与授予,按照《华东师范大学学位授予工作细则》的相关规定执行。
十、必修课程教材
课程名称
选用教材(含教材、教学参考书)
现代半导体器件物理
《现代半导体器件物理》,施敏编著,科学出版社,2002年。
《现代集成电路半导体器件》,胡正明编著,电子工业出版社,2012
VLSI工艺技术
教材:《集成电路制造工艺与工程应用》,温德通著,机械工业出版社,2019年10月出版;
《半导体器件原理》,黄均鼐等著,复旦大学出版社,2020年7月再版;
《硅超大规模集成电路工艺技术理论、实践与模型》(英文版),James D. Plummer,电子工业出版社,2003年,第1次印刷,ISBN 7 053-8638-7;
模拟集成电路与系统设计
教材: 《模拟 CMOS 集成电路设计》(第二版),Behzad Razavi著,陈贵灿等译,西安交通大学出版社,2018年。
参考书:
《CMOS模拟集成电路设计》(第二版),Philip E.Allan著,冯军译,电子工业出版社,2005年。
《Analysis and Design of Analog Integrated Circuits》(第四版), Paul R.Gray,高等教育出版社,2003年。
《模拟集成电路设计精粹》,Willy M.C.Sansen,陈莹梅译,清华大学出版社,2008年。
数字集成电路与系统设计
教材: 《数字集成电路设计-从VLSI体系结构到CMOS制造》,Hubert Kaeslin,人民邮电出版社,2011
代表性教学参考书:《CMOS超大规模集成电路设计》(第四版),Neil H. E. Weste, 电子工业出版社,2011
微电子机械系统
教材:《微系统设计与制造》,王喆垚编著, 清华大学出版社, 2008年
参考书:《Microsystem Design(中译本:微系统设计)》,Stephen D. Senturia 著,刘泽文、王晓红、黄庆安 等译,电子工业出版社, 2004年
十一、基本文献阅读书目
Wolf.W.Modern VLSI Design Systems on Silicon VLSI Circuits,Sci. Press & Pearson Education North Asia Limited,2002.
Jan M. Rabaey.Digital IC--A Design Perspective ,Prentice-Hall,1996.
Phillip E. Allen& Douglas R. Holberg,CMOS Analog Circuit Design.Oxford Univ. Press, Inc. 2002.
N.H.E. Weste&K. Eshraghian, Principles of CMOS VLSI Design.Addison-Wesley Publishing Company, 1993.
J.Lee. Submicron Device Physics and Technology.Univ. of Texas Publ, 1996.
Thomas H.Lee, The Design of CMOS Radio-Frequency Integrated Circuits.CambridgeUniv. Press, 1998.
Practical Low Power Digital VLSI Design, KAL,1998.
韩郑生 译. 芯片制造:半导体工艺制程实用教程(第六版). 电子工业出版社,2015..
Wayne Wolf 著.现代VLSI电路设计.科学出版社, 2000年.
Muller.R.S. MEMS, Micro-sensor and Micro-actuators. 2001.
Muhammad H.Rashid著.微电子电路分析与设计.科学出版社,2000年.
张海洋 等,等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用,清华大学出版社,2018年
King-Ning Tu等.电子薄膜科学.科学出版社,1997年版.
施敏.现代半导体器件物理.科学出版社,2002年版.
李名复.半导体物理学. 科学出版社,2001年版.