随着后摩尔时代芯片的微型化、多功能化和智能化,集成电路材料与微纳器件的实际服役环境日益苛刻。研究团队围绕以新型二维材料为代表的后摩尔时代集成电路材料展开“原位”研究,发展多种原子尺度表征测试的方法,揭示在力、热、光、电、磁等多场耦合下微观结构的演化规律,构筑多模态传感器。在Science、Nature子刊、IEEE TED、IEEE EDL、IEDM、IRPS、IPFA等发表论文200余篇。获得授权专利69项。研究所成员获得微电子工程全球青年科学家(2022)、科睿唯安全球高被引科学家(2021)等。承担国家重点研发项目课题、国家自然科学基金委和上海市科委重点项目等20余项。
代表性论文
1. “Direct visualization of breakdown induced metal migration in enhanced modified lateral silicon-controlled rectifiers”, IEEE TED., 68(3), (2021).
2. “Infrared gesture recognition system based on near-sensor computing”, IEEE EDL, 42(7), (2021).
3. “High efficiency and fast van der Waals hetero-photodiodes with a unilateral depletion region”, Nature Commun., 10:4663 (2019).
4. “Nanoscale analysis of breakdown induced crack propagation in DTSCR devices”, IEEE IRPS, 2022 in Dallas, Texas, USA.
5. "In situ TEM characterization and manipulation of advanced nano-devices", Nature Conference: Emergent Materials and Devices Electronic Structures and Properties, 2019.
科研项目
1. 国家自然科学基金重点项目课题,面向亚3纳米技术节点的晶体管超薄栅叠层结构与性能的原位研究,2022年至2025年。
2. 国家自然科学基金面上项目,基于原位透射电镜的层状过渡金属硫化物构效机理研究,2022年至2025年。
3. 国家自然科学基金面上项目,二维范德瓦尔斯栅叠层界面结构演化及其电学输运特性的原位研究,2021年至2024年。
4. 之江实验室,基于触觉与视觉融合的机器人操作与人机交互技术研究,2021至2022年。
5. 上海市科委基础重点项目,高迁移率石墨烯基晶体管源漏接触电阻的调控机制研究,2019年至2021年。